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真空渗碳的温度一般高于普通气体渗碳，常采用920～1040℃渗入和扩散可按所示分两阶段，也可用脉冲式通气、停气，多段式的渗一扩相间，效果更好。由于温度高，尤其表面洁净、有活性，真空渗碳层形成速度比普通气体、液体和固体渗碳快，如要求渗层为1mm时，在927℃只需5h，而1033℃仅需1h。
≤0.035
≤0.035
40Cr
0.37-0.44
0.17-0.37
0.50-0.80
≤0.035
≤0.035
0.08-1.10
精密钢管的化学成分有碳C、硅Si、锰Mn、硫S、磷P、铬Cr。
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